活气和非活气电晕根据电晕产生所用气体的化学性质不同，电晕处理机理与优点可分为非活性气体电晕和活性气体电晕两种。惰性气体如氩(Ar)、氮气(N2)、氟化氮(NF3)、四氟化碳(CF4)、活性气体、氧气(O2)、氢气(H2)等，不同类型气体在清洗过程中的反应机理不同，活性气体电晕具有更强的化学反应活性。
