在较低的功率下，电弧喷涂附着力洗涤薄膜的剪切强度会降低。它随功率增加。它随着增加而增加，达到峰值，然后逐渐降低强度。电感耦合等离子体蚀刻 (ICPE) 是化学反应和物理联系的综合表现。机制如下：在低压下，ICP射频电源输出到环形耦合电磁线圈，耦合电弧放电使混合蚀刻气体通过耦合电弧放电产生高密度等离子
