二、基本原则等离子体清洗机中低温等离子体的产生机理有很多种，电容耦合等离子体原理eccp包括但不限于直流辉光放电、射频感应放电和电容耦合射频放电。其中，水平电极板电容耦合射频放电因其处理面积大，被广泛应用于许多研究和工业处理中。下图为水平电极电容耦合的射频等离子体清洁器放电。。射流等离子体清洗机用于
