等离子体清洗具有良好的均匀性、重复性、可控性、节能环保等优点，电子电路等离子清洁机具有广泛的应用范围。在等离子体清洗过程中，氧气变成含有氧原子自由基、激发态氧分子、电子等粒子的等离子体。这类等离子体与固体表面的反应可分为物理反应（离子轰击）和化学反应，物理反应机理是活性粒子轰击待清洗表面，使污染物从
