产生的活性粒子更加多样化，电子电路等离子体表面处理机活性更高，更容易与所接触的材料表面发生反应，因此常采用等离子体对材料表面进行改性。与常规方法相比，等离子表面改性成本低、无浪费、无污染，具有优异的处理效果，在金属、微电子、聚合物、生物功能材料等诸多领域有望具有广泛的用途。由于周围环境的影响，电子电
