这些高能电子与甲烷分子发生非弹性碰撞，电子电路刻蚀机器然后与许多活性物质产生活性自由基，进一步碰撞结合形成新物质。...由于共价键漂移率远低于电子漂移率，电子电路刻蚀因此共价键空间电荷区的电子密度高于电子元件的电子密度。空间电荷区要大得多，几乎所有极性电流和电压都集中在阴极周围的一小块区域。这也是电
