同时氢气具有还原性，电子束表面改性设备可用于清洁金属表面的微氧化层，不易损坏表面敏感的有机层。因此，它被广泛用于微电子、半导体和电路板的制造。通常严格禁止在等离子清洗设备中混合这两种气体，因为氢气是一种危险气体，当与 O2 结合时会自爆而不会发生电离。氢等离子体与氩等离子体一样，在真空等离子体条件下
