等离子清洗剂广泛应用于光学、光电子学、电子学、材料科学、生命科学、高分子科学、生物医学、微流体等领域。等离子清洗机又称等离子蚀刻机、等离子脱胶机、等离子活化剂、等离子清洗机、等离子表面处理机、等离子清洗系统等。等离子处理设备广泛用于等离子清洗、等离子刻蚀、等离子晶圆剥离、等离子镀膜、等离子灰化、等离