（C、H、O、N）+（O+OF+CO+COF+F+e） CO2 ↑ + H2O ↑ + NO2 + SiO2与由Si组成的玻璃纤维之间的化学反应： HF + Si → SiF ↑ + H2 ↑ HF + SiO → SiF ↑ + H2O ↑在等离子体化学反应中起化学作用的粒子主要是正离子和
