等离子体处理可以有效去除钻孔后的有机碳化物，玻璃表面处理后亲水性提高还可以对孔壁内侧进行轻微刻蚀，提高了镀铜壁基数据的结合强度。真空等离子体清洗机的部件主要包括等离子体发生器、真空泵、真空室等。采用等离子体处理表面，在相同效果下，可获得极薄高张力的涂层表面，不需其他机械和化学处理即可提高其结合功能。
