在此要特别强调的一方面是：空气型充入混合气体的目的主要是以便活性，有机硅附着力小木虫侵润性加强。而真空环境型充入混合气体的目的是以便加强蚀刻加工功效，清除污染物质，清除有机化合物，侵润性加强等。因为氩气的分子比较大，玻璃树脂对有机硅附着力电离后产生的粒子比较后，在进行表面清洗和活化时通常会配合活性气
