等离子清洗设备一般包括反应腔室，漆膜的附着力是什么意思电控系统，射频电源，真空系统以及操作系统等，射频等离子清洗设备的原理是通过真空系将真空腔体袖至10-30PA左右的真空度，然后向真空腔体中通入氩气或者氧气等反应气体，当真空度约为10-100PA时开启巧频电源，调节射频匹配电源，起辉形成等离子体。
