等离子体清洗具有工艺简单、操作方便、不处理废物、不污染环境等优点。但不能去除碳和其他非挥发性金属或金属氧化物杂质。等离子体清洗机常用于光刻胶的去除过程中。在等离子体反应体系中引入少量氧气。在强电场作用下，金属涂料怎么增加附着力氧气产生等离子体，使光刻胶迅速氧化成挥发性气体状态，抽走物质。等离子清洗机
