进气和抽出的气体必须处于动态平衡，海南大气等离子清洗机用途以保持一定的真空度。如果进气量太大，对真空泵的要求就会很高，会浪费气体。此外，要求苛刻的超净气源必须先过滤后才能放入等离子清洗器腔内。此时，需要防止气体流量过高。 2. 等离子清洗机可用于以下用途。在洗去化学表面改性的天然氧化物层后，将物体从
