等离子体是一种电离气体，流水线等离子体清洁机是诸如电子、离子、原子、分子或自由基等粒子的集合。高能电子的清洁,将高能电子气体分子的碰撞,解离或电离,使用各种粒子轰击产生的表面清洗或化学反应与表面清洗,有效清除各种污染物;与此同时,还可以改善材料本身的表面性能，如改善表面的润湿性、改善薄膜的附着力等，
