该气体主要结合在线等离子体表面处理器技术，油漆附着力规范要求用于材料的表面活化改性。也可用于真空环境。氮气(N2)是改善材料表面润湿性的良好气体。此外，还有类似于四氟化碳(CF4)和六氟化硫(SF6)的特殊气体，在等离子体表面处理器蚀刻去除有机物方面更为有效。但使用这些气体的前提是必须具有良好的防腐
