这两种电介质的化学键能非常高，油漆附着力百格板用划刀通常需要使用由碳氟化合物气体（CF4、C4F8 等）产生的高反应性氟等离子体对它们进行蚀刻。上述气体产生的等离子体的化学性质非常复杂，往往会在基材表面形成聚合物沉积物，通常使用高能离子来去除上述沉积物。。无论是等离子清洗技术的发展，还是微电子技术的
