阴极溅射同时进行，油漆附着力拉拔试验仪器为沉积的薄膜提供了一个具有良好活性的清洁表面。因此，整个沉积过程明显不同于单独的热活化过程。它们之间的相互作用为提高涂层附着力、降低沉积温度、加快反应速度创造了有利条件。根据等离子体源的类型，等离子体化学气相沉积技术可分为直流辉光放电、射频放电和微波等离子体放
