对比等离子蚀刻，河北低温等离子处理机用途湿法蚀刻工艺具有温度低、效率高、成本低等优点，在湿刻过程中，可以有效地除去硅片上的磷硅玻璃和金属离子，而且可以多次地实现钝化和清洗除去残渣，进而提高硅片的使用效率。 对比等离子蚀刻，湿式刻蚀系统是一种通过化学刻蚀液与被刻蚀物之间的化学反应而使其剥离的刻蚀方法。
