氩等离子体清洗剂处理TIO2薄膜会引入氧空位，江阴在线等离子清洗机水分子中和这些氧空位形成OH基团，从而提高TIO2薄膜的亲水性。Ar等离子体处理显著提高了NGT基TiO2薄膜的亲水性。。Ar等离子清洗机在工业生产中的三个应用Ar是惰性气体，电离后形成的离子体不易与材料发生反应。主要用于等离子体清洗
