真空泵一般由旋转油泵组成，江西等离子清洗机装置分子泵安装高频电源一般采用13.56MHz无线电波。该设备的操作过程如下。 (1) 固定清洁后的真空吸尘器。连同腔体一起启动操作装置，启动排气，使真空腔体的真空度达到10Pa的标准真空度。正常排气时间大约需要 2 分钟。 (2) 将清洗气体引入真空室，保
