主要方法是以干法等离子脱胶法为主要蚀刻气体。该装置使用高频和高压能量在真空等离子体脱胶反应室中电离并产生氧和游离氧原子。氧分子和电子混合的等离子体。游离氧原子具有很强的氧化能力（约10%～20%），江西等离子处理仪安装方法在高频电压下与晶圆感光膜发生反应：O2→O*+O*、CxHy+O*→CO2↑+
