氩气和氦气本质上是稳定的，氩气等离子清洗芯片时间放电电压低（氩原子的电离能E为15.57EV），易形成半稳定原子的物体，被AR+冲击的污垢是挥发性污垢。由真空泵排出，避免了表面物料的反应。另一方面，氩气倾向于形成可变稳定性原子，这些原子与氧和氢分子碰撞以产生电荷转换和再生。当键合时，氧和氢的活性原子
