根据气体的性质，氩气等离子体表面活化等离子体可分为以下两种类型:气态等离子体和非气态等离子体，气态等离子体根据其所使用气体的化学性质不同又可分为惰性气体和活性气体。惰性等离子体如氩气(Ar)、氮气(N2)、氟化氮(NF3)、四氟碳(CF4)、空气等，气态等离子体如氧气(O2)、氢气(H2)等。在清洗
