在这种情况下等离子处理产生以下效果： 1.1 表面有机层灰化-表面受到化学冲击-在真空和临时高温条件下污染物的部分蒸发-污染物受到高能离子的撞击真空执行-紫外线辐射破坏污染物污染层不应太厚，氩气plasma表面处理因为真空处理只能渗透到每秒几纳米的厚度。指纹也可以。 1.2 氧化物去除 金属氧化物会
