另一方面，氧化膜与基体的附着力比较当各种活性粒子与被清洗物表面接触时，各种活性粒子与被清洗物表面的杂质发生化学反应，产生挥发性气体等物质，将挥发性物质吸走。将物质放入真空泵中。例如，ROS 等离子体氧化材料表面的有机物质。反之，随着各种活性颗粒与清洗剂表面碰撞，材料表面的杂质被真空泵的气流吸收。等离
