氧低温等离子设备等离子清洗的原理是氧自由基与底物表面的有机污染物发生反应，氧化后喷漆能提高附着力吗生成二氧化碳、一氧化碳、水等挥发性物质，然后用真空泵将这些挥发性物质吸走。采用真空蒸发的方法在硅片表面沉积了金岛膜。岛状膜具有良好的表面强化效果，对砷分子的强化系数为10。氧离子清洗去除了金岛膜的表面污
