在液晶显示器组装中,氟材料清洁机器很多工艺都需要等离子加工技术,如玻璃基板蒸发和溅射形成ITO膜,造成玻璃表面的脏清洗困难,缺乏清洗效果,而等离子清洗可以有效去除油、污垢等污染物,达到超净清洗的目的。ITO玻璃涂有光刻胶前的等离子体处理可以有效地提高表面润湿性,去除污染物,减少气泡产物,去除图形转移