正如我们所熟知气体放电、激光和热电离以及光电离等多种方式可以产生等离子,目前最广泛的使用方式是气体放电。气体放电分为多种类型,如自持放电、电晕放电、辉光放电、大气压介质阻挡放电,射频放电等。以下就几种气体放电方式展开介绍:(1)辉光放电(glowdischarge)是一种稳定的自持放电过程,能够产生