等离子体中活性粒子的能量通常为数~ 12 eV，橡胶油附着力标准而橡胶材料中的化学键能大多在3 ~ 6eV之间。等离子体中粒子的能量大于或等于橡胶分子的能量，所以化学键可以断裂形成新的化学键。然而，等离子体中粒子的能量远低于辐射，所以等离子体处理只发生在基体表面，而不损伤基体。蚀刻沉积是一对相反和同
