由于通孔内管线数量多、深径比大，树脂属于亲水性的成分吗等离子清洗时容易出现层间清洗不均匀、孔壁粗糙、玻璃布环氧树脂清洗过多等问题。本文通过研究孔内等离子体渗透率与不同气体含量的关系，以及研究不同CF4的影响，确定等离子体清洗的总体含量:通过对等离子体层间均匀性差异、玻璃布清洗程度等因素的影响，确定了
