目前等离子刻蚀在集成电路制作广泛使用，有机硅消泡剂涂料附着力去除表面有机物，等离子是部分离化的中性气体，在等离子中自由电子与中性分子，原子进行碰撞，通过碰撞电离，进一步得到更多的电子和离子。基于电子的能量，可以获得更丰富的离子，激发态高能中性粒子等，同时由于电子吸附在中性气体表面还可获得负离子。一、
