等离子体射流本身温度高，晶圆plasma清洗但与固相碰撞后表面温度高。这种等离子体只适用于处理陶瓷和金属等耐热材料。②低温等离子体：一般采用低压（真空）电场或高频电晕放电产生等离子体，其温度可控制在常温附近。适用于塑料、硅胶、晶圆等非耐热材料。对薄膜PP等材料进行五氧化二氮和活化处理，晶圆plasm
