氩通过将氧分子从金属中分离出来来防止氧化。。等离子体发生器技术半导体材料晶圆清洗已经成为一种成熟的工艺:在半导体材料生产过程中，晶圆plasma表面清洗设备几乎每一道工艺都需要清洗，循环清洗质量严重影响设备性能。由于循环清洗是半导体制造过程中重要且频繁的工艺，其工艺质量将直接影响设备的合格率、性能和
