在等离子体碰撞过程中，日光蚀刻法过程粒子的动量守恒，总动能守恒，参与碰撞的粒子的内能不变，不产生新的粒子或光子，只有粒子的速度发生动量和动能的转换。这种碰撞称为弹性碰撞。 2. 非弹性碰撞。在等离子体碰撞过程中，粒子的总动量被保留，但总动能没有被保留，改变了至少一个粒子的内能，例如新粒子的结合或光子
