低温等离子设备的等离子动力清洗技术实际上是一种高精度的干法清洗设备，无机填料的表面改性工艺清洗范围为纳米级有机物，有机污染物。低压气体辉光等离子体主要用于等离子体清洁应用。一些非聚合物无机气体（Ar、N2、H2、O2 等）在高低频下被激发，产生各种含有离子、激发分子、自由基等的活性粒子。一般来说，在
