等离子处理器广泛应用于等离子清洗、等离子蚀刻、等离子晶片分层、等离子涂层、等离子灰化、等离子活化和等离子表面处理。等离子清洗机用于去除晶圆表面的颗粒，能提高附着力的聚酯多元醇彻底去除光刻胶等有机物，活化和粗糙化晶圆表面，提高晶圆表面的润湿性。等离子应用包括清洗机预处理、灰化/抗蚀剂/聚合物剥离、晶圆
