在这种情况下，正性光刻胶的附着力只使用一台抽真空泵会减慢抽真空速度，增加抽气时间，影响处理效率。因此，为了提高真空泵的转速，一般都配备大腔真空等离子表面处理机真空泵。使用两个或多个真空泵组成一系列真空泵。这样可以大大提高真空泵的转速。真空表面等离子处理设备中使用的真空泵组件一般分为三类。一种是旋片真
