与氧等离子体相反，亲水性是物理性质而经含氟气体的低温等离子体处理，可在基材表面引入氟原子，使基材具有憎水性。 以上就是等离子清洗机常见的使用气体及其用途。等离子体化学是使物质通过吸收电能进行的气相干式化学反应，具有节水省能无公害、有效利用资源、有益环境保护的绿色化学特征。利用等离子体活性物种（电子、
