XY轴采用精密级滑块及细杆调节，感应耦合等离子束刻蚀确保贴合精度。 压力显示采用日本SMC数显压力表，精准、直观。 高可靠性感应系统，配置多项报警功能，实现安全高效。 进口PLC微电脑集中控制，工作稳定可靠，可扩展功能强。。冷等离子体： 电子温度高（103~104K）、气体温度低,如稀薄低压辉
