真空等离子清洗机包括一个反应腔室、电源和真空泵组。样品放置反应腔室内，pe附着力树脂助剂真空泵开始抽气致一定的真空度，电源启动便产生等离子体，然后气体通入到反应腔室，使腔室中的等离子体变成反应等离子体，这些等离子体与样品表面发生反应，生产可挥发的副产物，并由真空泵抽出。真空离子清洗机由真空发生系统、
