等离子体清洗一般采用激光、微波、电晕放电、热电离、电弧放电等方式将气体激发成等离子体状态。在等离子清洗应用中，微波等离子去胶机PS210主要采用低压辉光等离子。一些非粘性无机气体(Ar2、N2、H2、O2等)在高频和低压下被激发，产生含有离子、被激发分子、自由基等多种活性粒子。一般在等离子体清洗中，
