流程一如下：有机物的去除首先利用等离子体的原理激活气体分子，微波等离子体的优点然后利用O、O3与有机物发生反应，达到去除有机物的目的。流程2如下：表面活化是等离子体的第一个用途。利用气体分子的活化原理，进而发挥O、O3含氧官能团的表面活化作用，提高材料的粘附性和润湿性。等离子清洗通常使用激光、微波、
