实际上，微波等离子可以清除掉环氧树脂吗?半导体出产中大多选用射频或微波等离子体清洗，而半导体后部工序用户用的等离子体清洗设备大多数选用由铝或不锈钢制造的方形、长方形金属箱体，电极为内置平行板状结构。 各等离子体清洗设备厂家针对不同的用户需求，规划制造了许多种不同结构类型、不同电源频率的清洗设备，各有
