这是因为压力越高，防锈剂会影响喷漆附着力吗碰撞越多，等离子体消失的可能性越大，等离子体能量的降低，从而导致蚀刻速率的降低。一般来说，射频功率越高，蚀刻速率越快，因为等离子体离解速率越高。这些蚀刻方法比较常见，研究比较深入，报道较多。相比之下，铟镓砷在鳍式场效应晶体管的制造中已有报道，但相关蚀刻的细节
