空气中通常使用平板电极和圆柱电极。为了实现标准大气压介质阻挡放电,平板plasma活化机需要在两侧金属电极之间的气隙中插入至少一种绝缘介质(通常由玻璃、石英、陶瓷等制成),并对两侧电极施加交流电压源。随着外加电压的增加,介质阻挡放电的击穿与其他放电相似。在外电场作用下,电子加速获得能量,通过与周围原