冷等离子体可在常温常压下产生，常压真空等离子处理机批发其工业应用前景广阔。测试数据表明，电源参数对STC的初级转换有显着影响。在一定范围内，工频越低，电压越高，氯硅烷加氢反应越快。 DBD放电法工频产生的等离子发生器安全可靠、经济环保、易于实施。关于四氯化硅的加氢促进效果，在常温常压条件下使用 Pl
