而且，如何增加尼龙材料的附着力DI一凸部可以使基座和托盘坚持杰出的接触，然后供给托盘表面温度的均匀性，这又使得置于托盘顶部不同方位的基片的刻蚀速度相同，前进刻蚀工艺的稳定性，前进产品的质量。 密封件的挑选是否适合，是一台真空等离子清洗机密封性好坏的要害。其实，真空等离子清洗机如何挑选适合的密封件也是
