此外,电缆线型号及内导体附着力半导体晶圆不可避免地会受到各种杂质的污染,因为该过程总是由人在无尘室中进行。 ..根据污染物的来源和性质,污染物可大致分为四类:颗粒物、有机物、金属离子和氧化物。 1.1 粒子颗粒主要是一些聚合物、光刻胶和蚀刻杂质。这种污染物通常主要通过范德华引力吸附到晶片表面。这会影