1工艺气体控制常用控制阀(1)真空电磁阀真空等离子体清洗机需要保证真空室内的工作真空度在设计范围内,宿迁在线式等离子清洗机一般多少钱因此与真空室连接的阀门必须满足高真空密封要求,因此常规工艺气体控制是选用真空电磁阀。由于工艺气体为单向控制,选用的真空电磁阀为两位双向。(2)气动球阀气动球阀具有高真空